NOMOR PATEN

IDP000038243

TANGGAL PEMBERIAN 10 Apr 2015
DOWNLOAD Publikasi A Publikasi B

SENSOR UNTUK MENDETEKSI GAS HIDROGEN

STATUS (PA) Masa Tenggang Dihapuskan Rincian status
NOMOR PENGUMUMAN

050.0213

TANGGAL PENGUMUMAN

28 Jan 2010

NOMOR PERMOHONAN

P00200800434

TANGGAL PENERIMAAN

23 Jul 2008

TANGGAL DIMULAI PELINDUNGAN

23 Jul 2008

TANGGAL BERAKHIR PELINDUNGAN

23 Jul 2028

JUMLAH KLAIM

6

NAMA PEMERIKSA

Ir. Irawan

GAMBAR
TANGGAL PENGUMUMAN TANGGAL PEMBERIAN TANGGAL DIMULAI PELINDUNGAN TANGGAL BERAKHIR PELINDUNGAN

Jan 2010 28

Apr 2015 10

Jul 2008 23

Jul 2028 23

Abstrak

Sensor gas hidrogen sebagai alat peringatan dini terhadap bahaya kebakaran dibuat dengan menggunakan FET sebagai transduser. Dua material berbeda yaitu titanium (Ti) dan platina (Pt) digunakan sebagai film sensitif hidrogen untuk meningkatkan kinerja sensor hidrogen. Deposisi Ti dan Pt pada gate Si dilakukan dengan DC Sputtering secara berurutan. Setelah itu, film dipanaskan pada temperatur 800 ï‚°C dalam aliran oksigen 600 sccm selama 30 menit. Karakterisasi film dilakukan dengan menggunakan Scanning Electron Microscopy (SEM) dan Energy Dispersive X-ray (EDX) untuk melihat morfologi permukaan dan komposisi film. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa permukaan film tidak rata setelah dilakukan annealing pada temperatur 800 ï‚°C akibat terbentuknya pulau-pulau Pt di atas butiran-butiran TiSi2. Perubahan fungsi kerja terhadap konsentrasi hidrogen diukur sebagai fungsi temperatur dan kelembaban. Hasil pengukuran menunjukkan bahwa sensor hidrogen sangat sensitif dan stabil terhadap perubahan konsentrasi hidrogen mulai dari 3.000 ppm sampai 20.000 ppm pada temperatur kamar sampai 135 ï‚°C baik dalam kondisi kering maupun lembab dengan waktu respon t90~10 detik. Sinyal keluaran sensor hidrogen meningkat dengan meningkatnya konsentrasi hidrogen. Pada uji kestabilan menunjukkan bahwa bentuk sinyal keluaran sensor hidrogen (~ 300 mV) hampir tidak berubah selama 8 kali pengukuran 10.000 ppm gas hidrogen dengan interval waktu pengukuran 30 menit.

Prioritas
  • Nomor
  • Tanggal
  • Kewarganegaraan
  • -

  • -

  • -

IPC
Pemegang Paten
  • Nama
  • Alamat
  • Nationality
  • LEMBAGA PENELITIAN UNSOED

  • Jl. Dr. Soeparno Karangwangkal Purwokerto 53123 INDONESIA

  •   ID

Inventor
  • Nama
  • Alamat
  • Kewarganegaraan
    • Dr.-Ing. R.W. Widanarto

    • -

    •   ID

Pembayaran Pemeliharaan Terakhir
  • Tahun pembayaran Terakhir
  • Tanggal Bayar
  • Nominal
    • 11

    • 09 May 2018

    • 650,000

Konsultan
  • Nama
  • Alamat
  • Nationality
  • -

  • -

  • -